发明名称 THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0214577(A) 申请公布日期 1990.01.18
申请号 JP19870238746 申请日期 1987.09.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWACHI GENSHIROU;YOSHIMURA MASAO;KONISHI NOBUTAKE
分类号 H01L27/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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