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发明名称 DEVICE FOR THE ALIGNMENT, TESTING AND/OR MEASUREMENT OF TWO-DIMENSIONAL OBJECTS
摘要
申请公布号 EP0218613(B1) 申请公布日期 1990.01.17
申请号 EP19860901820 申请日期 1986.03.27
申请人 WILD LEITZ GMBH 发明人 SCHUSTER, ERICH
分类号 G01B11/00;G01B11/03;G02B21/18;G03F1/08;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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