发明名称 SPUTTERING CATHOD
摘要
申请公布号 JPH0212747(A) 申请公布日期 1990.01.17
申请号 JP19890093284 申请日期 1989.04.14
申请人 LEYBOLD AG 发明人 BUORUFURAMU MAASU;BERUNHARUTO KORUTO;DAGUMAARU FUERENBATSUHA;TOOMASU MASUTENSU;PEETAA BUIRUTSU
分类号 C23C14/34;G11B15/29;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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