| 发明名称 |
PIPING CLAMP COUPLING FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0211992(A) |
申请公布日期 |
1990.01.17 |
| 申请号 |
JP19880162848 |
申请日期 |
1988.06.30 |
| 申请人 |
TERU BARIAN KK |
发明人 |
KIRIYAMA KENJI;KATO SUSUMU |
| 分类号 |
F16L21/06;F16L23/04;H01L21/205;H01L21/22 |
主分类号 |
F16L21/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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