Holding device for a disc and its use.

摘要

Die Haltevorrichtung für Halbleiterscheiben (Wafer) orientiert und sichert die Scheibe während des Transports zur Bearbeitungsposition, gibt aber kurz vor der Bearbeitungsposition die zu bearbeitende Oberfläche frei bzw. sichert die Waferposition mit Hilfe eines in der Bearbeitungsposition bleibenden Rings. Dabei kann die Scheibenfläche vollständig oder mit minimaler Abschattung bearbeitet und gleichzeitig die Transportmechanik wirkungsvoll vor der Bearbeitung, z.B. Beschichtung oder Aetzung, geschützt werden. Alle der Bearbeitung dauernd ausgesetzten Teile können leicht ausgewechselt werden. Falls die Scheibe in der Bearbeitungsstation kleben bleibt, wird sie durch die formschlüssige Transportsicherung abgerissen.