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摘要
申请公布号
JPH022282(B2)
申请公布日期
1990.01.17
申请号
JP19850242295
申请日期
1985.10.28
申请人
SHOWA ALUMINIUM CO LTD
发明人
KATO YUTAKA;ISOYAMA EIZO
分类号
H01L21/203;C30B23/08;H01L21/26
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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