| 发明名称 |
MECHANISM FOR CORRECTING PART HANDLING POSITION OF PART HANDLER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0210270(A) |
申请公布日期 |
1990.01.16 |
| 申请号 |
JP19880161274 |
申请日期 |
1988.06.29 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
KUWABARA ICHIRO;HIROKAWA HIDEO;MURAKAMI KUNIHIKO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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