| 发明名称 |
PROFILE MEASURING SYSTEM OF THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0210211(A) |
申请公布日期 |
1990.01.16 |
| 申请号 |
JP19880162174 |
申请日期 |
1988.06.29 |
| 申请人 |
TOSHIBA MACH CO LTD |
发明人 |
IGUCHI KATSUHIRO;IWATA AKIHIRO;WAKITA RYUICHI;NITTA SATOSHI;ISHIZAWA HIROTO |
| 分类号 |
G01B21/08;G01B11/06;G01B15/02;G01B21/20 |
主分类号 |
G01B21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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