| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET BEHANDELEN VAN OPPERVLAKKEN VAN TUSSENPRODUKTEN BIJ HET VERVAARDIGEN VAN HALFGELEIDERS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL185116(C) |
申请公布日期 |
1990.01.16 |
| 申请号 |
NL19760009602 |
申请日期 |
1976.08.30 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO., LTD. TE KAWASAKI, JAPAN. |
发明人 |
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| 分类号 |
C11D3/30;C23G1/14;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306;C23G5/036 |
主分类号 |
C11D3/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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