发明名称 Ultra dense dram cell and its method of fabrication
摘要
申请公布号 US4894697(A) 申请公布日期 1990.01.16
申请号 US19880264418 申请日期 1988.10.31
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHIN, DAEJE;DHONG, SANG H.
分类号 H01L27/10;H01L21/3065;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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