发明名称 ION IMPLANTATION SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0210775(A) 申请公布日期 1990.01.16
申请号 JP19890070789 申请日期 1989.03.24
申请人 NORTHERN TELECOM LTD 发明人 AREKUSANDAA KARUNITSUTSUKII;MAIKERU IAN HIISUKOOTO KINGU;ROBAATO ARAN HADAUEI
分类号 H01L21/02;H01L21/265;H01L21/8247;H01L27/11;H01L29/45;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;H01L29/86 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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