发明名称 |
ION IMPLANTATION SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0210775(A) |
申请公布日期 |
1990.01.16 |
申请号 |
JP19890070789 |
申请日期 |
1989.03.24 |
申请人 |
NORTHERN TELECOM LTD |
发明人 |
AREKUSANDAA KARUNITSUTSUKII;MAIKERU IAN HIISUKOOTO KINGU;ROBAATO ARAN HADAUEI |
分类号 |
H01L21/02;H01L21/265;H01L21/8247;H01L27/11;H01L29/45;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;H01L29/86 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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