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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT TEST DEVICE
摘要
申请公布号 JPH029146(A) 申请公布日期 1990.01.12
申请号 JP19880160258 申请日期 1988.06.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 SUMINO YUTAKA
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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