发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH029161(A) 申请公布日期 1990.01.12
申请号 JP19880159625 申请日期 1988.06.28
申请人 NEC CORP 发明人 NISHIDA HIROSHI
分类号 H01L21/822;H01L21/8249;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/06 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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