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经营范围
发明名称
TESTER FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH028761(A)
申请公布日期
1990.01.12
申请号
JP19880160260
申请日期
1988.06.27
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
SUMINO YUTAKA
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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