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发明名称 INSPECTION DEVICE FOR PRINTING PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0210138(A) 申请公布日期 1990.01.12
申请号 JP19880160009 申请日期 1988.06.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TOKURA NOBUSHI
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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