发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH029152(A) 申请公布日期 1990.01.12
申请号 JP19880159737 申请日期 1988.06.28
申请人 SONY CORP 发明人 SUMI HIROBUMI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/283 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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