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发明名称
ECR PLASMA GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH027330(A)
申请公布日期
1990.01.11
申请号
JP19880156364
申请日期
1988.06.24
申请人
TEL SAGAMI LTD
发明人
TANAKA SUSUMU;SHIMADA YUTAKA;FUKUOKA SUSUMU
分类号
H01J27/16;H01J37/08
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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