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发明名称 THIN FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH027523(A) 申请公布日期 1990.01.11
申请号 JP19880158973 申请日期 1988.06.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MITSUSHIMA TAKESHI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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