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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH027468(A) 申请公布日期 1990.01.11
申请号 JP19880158875 申请日期 1988.06.25
申请人 SONY CORP 发明人 OSHIMA TAKEFUMI
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/31;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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