发明名称 CRYOGENIC PROCESS FOR METAL LIFT-OFF
摘要 <p>This invention is directed to a process for the cryogenic lift-off of metal/resist material from a surface of a substrate.</p>
申请公布号 WO1990000310(A1) 申请公布日期 1990.01.11
申请号 US1989002592 申请日期 1989.06.14
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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