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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH027434(A) 申请公布日期 1990.01.11
申请号 JP19880157334 申请日期 1988.06.24
申请人 NEC CORP 发明人 KISHI ATSUSHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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