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发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR STRUKTURIERTEN SCHICHTABSCHEIDUNG MITTELS LASERLICHT
摘要
申请公布号 DD275076(A1) 申请公布日期 1990.01.10
申请号 DD19880319240 申请日期 1988.08.26
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 RADLOFF,WOLFGANG,DD;BELOW,ERNST,DD
分类号 C23C16/06;C23C16/48;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 C23C16/06
代理机构 代理人
主权项
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