发明名称 PROCEDIMENTO DI PLANARIZZAZIONE
摘要
申请公布号 IT1214235(B) 申请公布日期 1990.01.10
申请号 IT19870083610 申请日期 1987.03.03
申请人 SGS MICROELETTRONICA S.P.A. 发明人 STEFANO CRAPELLA;FABIO GUALANDRIS
分类号 H01L;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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