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发明名称 LOW-TEMPERATURE PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH026504(A) 申请公布日期 1990.01.10
申请号 JP19880157235 申请日期 1988.06.24
申请人 HITACHI KOKI CO LTD 发明人 MORI KINTARO;NOTO NOBUHIRO
分类号 G01N1/28;C08F2/00;C08F2/52;H05H1/24 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
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