| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH026386(A) |
申请公布日期 |
1990.01.10 |
| 申请号 |
JP19880156919 |
申请日期 |
1988.06.27 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SHIBATA TOMOHIRO;NANISHI YASUYUKI;KONDO NAOTO |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B25/02;H01L21/203;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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