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发明名称 INLET MANIFOLD AND METHODS FOR INCREASING GAS DISSOCIATION AND FOR PECVD OF DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 EP0303508(A3) 申请公布日期 1990.01.10
申请号 EP19880307501 申请日期 1988.08.12
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CHANG, MEI;WHITE, JOHN M.;WANG, DAVID NIN-KOU;MAYDAN, DAN
分类号 C23C16/50;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;(IPC1-7):C23C16/30 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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