| 发明名称 |
REACTOR SYSTEM AND METHOD FOR FORMING POLYCRYSTALLINE BARS OF UNIFORMLY LARGE DIAMETER BY THERMAL DECOMPOSITION OF SILANE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH026317(A) |
申请公布日期 |
1990.01.10 |
| 申请号 |
JP19890005066 |
申请日期 |
1989.01.13 |
| 申请人 |
UNION CARBIDE CORP |
发明人 |
DEIBITSUTO DABURIYUU HAGAN;UIRIAMU DEII BAAKU;TOOMASU AARU TOOMAN;MATSUKUREA BII UIRUMAATO |
| 分类号 |
C01B33/035;C23C16/24;C30B28/14;C30B29/06 |
主分类号 |
C01B33/035 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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