| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH025471(A) |
申请公布日期 |
1990.01.10 |
| 申请号 |
JP19880156436 |
申请日期 |
1988.06.23 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
OSHIMA TAKEFUMI;MATSUSHITA TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/02;H01L21/31;H01L21/76;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
