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发明名称 EQUIPMENT FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH024974(A) 申请公布日期 1990.01.09
申请号 JP19880146514 申请日期 1988.06.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TSUKUDA KAZUAKI
分类号 C23C16/48;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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