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发明名称 PATTERN FORMING MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH024257(A) 申请公布日期 1990.01.09
申请号 JP19880153444 申请日期 1988.06.23
申请人 NIPPON ZEON CO LTD;MARUZEN PETROCHEM CO LTD 发明人 OIE MASAYUKI;KAMIYA SHIGEMITSU;MATSUMOTO OSAMU
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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