DEVICE FOR FORMING FILM IN VACUUM,申请号JP19880155011-传众专利搜索

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发明名称	DEVICE FOR FORMING FILM IN VACUUM
摘要
申请公布号	JPH024969(A)	申请公布日期	1990.01.09
申请号	JP19880155011	申请日期	1988.06.24
申请人	CANON INC	发明人	SUGITA SATORU
分类号	C23C14/56	主分类号	C23C14/56
代理机构		代理人
主权项
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