发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH024013(A) 申请公布日期 1990.01.09
申请号 JP19880152878 申请日期 1988.06.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUKUSHI ISAO
分类号 H01L21/822;G05F3/16;H01L21/8249;H01L27/04;H01L27/06;H03K19/08;H03K19/086 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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