| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH023258(A) |
申请公布日期 |
1990.01.08 |
| 申请号 |
JP19880150851 |
申请日期 |
1988.06.17 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
MORISHITA KAZUMASA;AIHARA YOSHITADA |
| 分类号 |
H01L21/822;G06F17/50;H01L21/027;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/10 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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