| 发明名称 |
COATING LIQUID FOR FORMING OXIDE COATING FILM AND PRODUCTION OF OXIDE COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH021778(A) |
申请公布日期 |
1990.01.08 |
| 申请号 |
JP19890022041 |
申请日期 |
1989.01.31 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
MORISHIMA HIROYUKI;UCHIMURA SHUNICHIRO |
| 分类号 |
C08G79/00;C08G77/48;C08G77/58;C09D183/00;C09D183/04;C09D183/14;C09D185/00;C23C18/12;H01L21/31;H01L21/312;H01L23/29;H01L23/31 |
主分类号 |
C08G79/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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