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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH021909(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880143165 申请日期 1988.06.10
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 ITAGAKI ISAO
分类号 H01L29/73;H01L21/225;H01L21/3205;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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