发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH022131(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880146178 申请日期 1988.06.13
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 MEGURO HIDEO;YOSHIURA AIMEI;ITAGAKI TATSUO;UCHIDA KEN
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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