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发明名称 ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH022966(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880146547 申请日期 1988.06.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO AKIO;HAMA SOICHI;OZAKI KAZUYUKI;OKUBO KAZUO;ISHIZUKA TOSHIHIRO
分类号 G01R31/302;G01R31/28 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
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