发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH022638(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880147297 申请日期 1988.06.15
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMAGUCHI TSUTOMU;BABA SEIICHI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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