发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH022615(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880147487 申请日期 1988.06.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MATSUMURA TAKASHI
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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