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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH022685(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880148948 申请日期 1988.06.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HASEGAWA YOSHIKI
分类号 H01L21/8247;G11C16/02;G11C16/04;G11C17/00;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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