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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH022642(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880147296 申请日期 1988.06.15
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NOGAWA KAORU
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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