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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH022129(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880146510 申请日期 1988.06.13
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 HIRAOKA KAZUNORI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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