发明名称 FLATTENING PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH021912(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880144029 申请日期 1988.06.10
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIGUCHI AKIRA;KONISHI MINORU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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