| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD OF TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02320(A) |
申请公布日期 |
1990.01.05 |
| 申请号 |
JP19880175335 |
申请日期 |
1988.07.15 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
RII EMU RAAUENSUTAIN;DEIIN DABURIYUU FURIIMAN;SESHIRU JIEI DEIBUISU |
| 分类号 |
H01L21/31;C23C16/34;C23C16/48;C23C16/517;H01L21/318 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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