| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SUPERCONDUCTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02322(A) |
申请公布日期 |
1990.01.05 |
| 申请号 |
JP19880170656 |
申请日期 |
1988.07.07 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
H01L39/06;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L39/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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