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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH021157(A) 申请公布日期 1990.01.05
申请号 JP19880069627 申请日期 1988.03.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SAKUI YASUSHI;HASEGAWA TAKEHIRO;SESHIMO TOSHIKI;WATANABE SHIGEYOSHI;MASUOKA FUJIO;FUSE TSUNEAKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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