| 发明名称 |
FORMATION OF FUNCTIONAL DEPOSITED FILM BY IMPROVED HR-CVD METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH021117(A) |
申请公布日期 |
1990.01.05 |
| 申请号 |
JP19890033675 |
申请日期 |
1989.02.15 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
ARAI TAKASHI;KANAI MASAHIRO |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L31/0248;H01L31/08 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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