发明名称 |
PROCEDE DE PREPARATION D'OXYNITRURE DE PHOSPHORE ET APPLICATION A LA PASSIVATION DE COMPOSES SEMI-CONDUCTEURS III-V |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2617152(B1) |
申请公布日期 |
1990.01.05 |
申请号 |
FR19870008962 |
申请日期 |
1987.06.25 |
申请人 |
CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE;ETAT FRANCAIS CNET |
发明人 |
ROGER MARCHAND;YVES LAURENT;PIERRE-NOEL FAVENNEC |
分类号 |
C01B21/097;C01B25/08;C22C1/00;H01L21/314;(IPC1-7):C01B21/097 |
主分类号 |
C01B21/097 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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