发明名称 PROCEDE DE PREPARATION D'OXYNITRURE DE PHOSPHORE ET APPLICATION A LA PASSIVATION DE COMPOSES SEMI-CONDUCTEURS III-V
摘要
申请公布号 FR2617152(B1) 申请公布日期 1990.01.05
申请号 FR19870008962 申请日期 1987.06.25
申请人 CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE;ETAT FRANCAIS CNET 发明人 ROGER MARCHAND;YVES LAURENT;PIERRE-NOEL FAVENNEC
分类号 C01B21/097;C01B25/08;C22C1/00;H01L21/314;(IPC1-7):C01B21/097 主分类号 C01B21/097
代理机构 代理人
主权项
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