| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR REMOVAL OF ORGANIC SUBSTANCE ON SUBSTRATE AND OZONE JETTING NOZZLE IN USE FOR SUCH APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH021121(A) |
申请公布日期 |
1990.01.05 |
| 申请号 |
JP19880229549 |
申请日期 |
1988.09.13 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MATSUNAGA SANENOBU;TERAJIMA KOZO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/3065;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
