发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02352(A) 申请公布日期 1990.01.05
申请号 JP19890038734 申请日期 1989.02.17
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKEDA KAZUO;ITO NOBUO
分类号 H01L27/06;H01L21/8222 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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